Optical waveguides fabricated in atomic layer deposited Al2O3 by ultrafast laser ablation
Por:
Lizarraga-Medina E.G., Castillo G.R., Jurado J.A., Caballero-Espitia D.L., Camacho-Lopez S., Contreras O., Santillan R., Marquez H., Tiznado H.
Publicada:
1 ene 2021
Resumen:
We report on the fabrication of optical waveguides by ultrafast laser ablation of Al2O3. First, a thin film was grown by atomic layer deposition (ALD) on fused silica substrate, followed by laser ablation micromachining the surface material in order to produce a rib waveguide. A multimode behavior of the waveguide and propagation loss of 3.8 dB/cm was measured at 632.8 nm. Microstructural characterization showed that roughness is the major issue to overcome the propagation losses. Results obtained in this work suggest a viable methodology for the fabrication of optical waveguides for potential applications in integrated photonics. © 2021 The Authors
Filiaciones:
Lizarraga-Medina E.G.:
Centro de Nanociencias y Nanotecnología, Universidad Nacional Autónoma de México, Km 107 Carretera Tijuana-Ensenada s/n, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Castillo G.R.:
Cátedras CONACyT – Centro de Nanociencias y Nanotecnología, Universidad Nacional Autónoma de México, B.C., Ensenada, 22800, Mexico
Jurado J.A.:
Centro de Investigación Científica y Educación Superior de Ensenada - CICESE, Departamento de óptica, Carretera Ensenada-Tijuana 3918, Zona playitas, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Caballero-Espitia D.L.:
Centro de Investigación Científica y Educación Superior de Ensenada - CICESE, Departamento de óptica, Carretera Ensenada-Tijuana 3918, Zona playitas, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Camacho-Lopez S.:
Centro de Investigación Científica y Educación Superior de Ensenada - CICESE, Departamento de óptica, Carretera Ensenada-Tijuana 3918, Zona playitas, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Contreras O.:
Centro de Nanociencias y Nanotecnología, Universidad Nacional Autónoma de México, Km 107 Carretera Tijuana-Ensenada s/n, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Santillan R.:
Centro de Investigación Científica y Educación Superior de Ensenada - CICESE, Departamento de óptica, Carretera Ensenada-Tijuana 3918, Zona playitas, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Marquez H.:
Centro de Investigación Científica y Educación Superior de Ensenada - CICESE, Departamento de óptica, Carretera Ensenada-Tijuana 3918, Zona playitas, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
Tiznado H.:
Centro de Nanociencias y Nanotecnología, Universidad Nacional Autónoma de México, Km 107 Carretera Tijuana-Ensenada s/n, B.C., Ensenada, 22860, Mexico
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